国内做石化装备规模比较大的厂家，国内做石化装备规模比较大的企业，国内做石化装备规模比较大的公司洁净区的送风方式有集中送风、风机过滤器机组(FFU)形式。目前，大规模集成电路厂房，洁净区面积大、洁净度等级高、送风量很大，通常采用FFU送风方式。对于规模较小的实验室，由于面积小，洁净度等级较低，送风量较小，可采用集中送风方式或FFU送风方式。FFU送风方式，国内做石化装备规模比较大的厂家，国内做石化装备规模比较大的企业，国内做石化装备规模比较大的公司由于空气循环路径短，气流速度低，阻力损失小，风机送风压头低，单位送风量电耗较集中送风方式低。对于洁净度等级高的洁净室，推荐采用风机过滤器机组（FFU）送风。
10.1.9 硅集成电路芯片厂房洁净室规模较大，新风量很大，通常采用多台新风机组集中处理新风，集中处理新风具有以下优点：
1 新风集中处理可以去除新风中绝大部分的灰尘，有效延长了末级高效空气过滤器(HEPA)、国内做石化装备规模比较大的厂家，国内做石化装备规模比较大的企业，国内做石化装备规模比较大的公司超高效空气过滤器(ULPA)的使用；
2 新风集中处理有利于去除新风中的水溶性化学污染物，降低了末级化学过滤器的负荷；
3 新风集中处理有利于洁净室湿度控制，避免冷热抵消，节约能耗；
4 通常芯片厂房新风机组有多台，并设置备用机组，宜并联运行。由于工艺设备分期安装，国内做石化装备规模比较大的厂家，国内做石化装备规模比较大的企业，国内做石化装备规模比较大的公司且生产技术发展升级速度迅速，设备更新升级快，工艺设备排风量会随运行设备数量和运行负荷率的变化而变化，新风量也是变化的，因此建议新风系统送风机采用变频措施，以适应新风需求量的变化。
10.1.11 干盘管是采用中温冷冻水作为冷媒的空气换热设备，国内做石化装备规模比较大的厂家，国内做石化装备规模比较大的企业，国内做石化装备规模比较大的公司安装洁净室回风通路上，消除洁净室内余热，因其表面温度高于洁净室内空气露点温度，不会产生冷凝水。干盘管应用于洁净室，一般迎风面速度控制在2m/s以下，以降低盘管空气阻力。干盘管正常运行时，不会产生冷凝水，不需要设置集水盘，但考虑到设备和管道检修，国内做石化装备规模比较大的厂家，国内做石化装备规模比较大的企业，国内做石化装备规模比较大的公司建议设置检修排水设施。